從定量分析的觀點來考慮，對光源的要求如下：
1．分析靈敏度高，并能分析痕量、微量元素分析，靈敏度可達ppm或ppb數量級。
2．濃度靈敏度高，即當分析元素含量C有小的變化時，相應的分析線強度2變化要大，即dI／dc要大。
3．在激發過程中，光源應有良好的穩定性和再現性，這是保證分析準確度的基本要求。
4．基體效應小，試料中基體含量變化時，分析元素的結果不受基體變化的影響。第三元素的影響，組織結構的影響，試樣形狀和質量的影響要小。
5．予燃時間，曝光時間(積分)要短，可提高分析效率和分析速度。
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